中古 DNS / DAINIPPON SP-W813-AS #9107314 を販売中

DNS/DAINIPPON SP-W813-ASは、高品質の半導体デバイスの生産ライン用に設計されたエッチャーおよびアッシャーです。酸化、エッチング、めっきなど幅広いデバイス工程で活用できるダイレクトイオンビームエッチング・アッシング装置です。このシステムは、高品質の半導体デバイス層を作成するために利用可能な最先端のエッチングおよびアッシング技術を利用しています。デッドエリアを排除し、エッチング層とアッシュ層の変化を最小限に抑えることで、高精度で均一な堆積を実現します。レーザー誘導化学蒸着（LCVD）技術、4軸パラレルロボット、高精度ミニチュアロボットを採用し、デバイス層の高精度エッチングとアッシングを実現しています。また、3次元空間でのクリティカルな画像処理を実現する独自の3Dイメージングカメラマシンも搭載しています。このツールを使用すると、ダイレクトイオンビームを正確に集中してスキャンして、データの取得と処理フィードバック制御を行うことができます。また、高品質な温度制御技術を採用し、高精度のエッチングとアッシングを実現しています。DNS SPW-813ASは、高度なモーションコントロール技術を使用して、同じX-Y-Z空間内の2次元ワークの動きを制御する高効率モデルです。この装置はまた、部品の自動検出と検査のためのマシンビジョンを統合します。DAINIPPONのSPW813-ASシステムは一貫した性能および柔軟性のために設計されています。ウェーハのエッチングから集積回路基板のアッシングまで、さまざまなプロセスに対応できるパラメータの豊富なデータベースを持っています。また、様々な圧力環境で弱いイオン化された酸素から窒素プラズマまで、さまざまな加工条件に適しています。全体的に、大日本SPW-813-ASは、高品質の半導体デバイス層を簡単に作成できる強力なエッチングおよびアッシング機です。最先端のエッチングとアッシング技術を活用し、比類のない結果を提供します。高品質な半導体デバイスの生産ライン向けに設計されています。