中古 DNS / DAINIPPON SP-W813-AS #293821361 を販売中

DNS/DAINIPPON SP-W813-ASエッチャー/アッシャーは、半導体業界で使用するために設計された信頼性の高い効率的な機械です。スピードと精度で半導体ウェーハのエッチングとアッシャーを可能にする様々な機能を備えています。DNS SPW-813ASは、圧力システム、自動ローディングシステム、およびCO2レーザー光源を備えた垂直タイプのマシンです。その主なコンポーネントは、ターゲット半導体ウェーハとレーザー源を保持するように設計されているチャンバーです。このチャンバーは、光学的に透明なプレートとカーボンで覆われたプレートの2つで構成されており、放射の吸収と反射を最適化するように設計されています。エッチングとアッシングのプロセスは、ターゲットとなる半導体ウェーハをチャンバーにロードすることから始まります。これは、ウェーハの表面材料を選択的に除去するaco2レーザー光源にさらされます。レーザー構成は、パルス幅、スポットサイズ、反復速度などのパラメータを使用して制御されます。その結果、ウェーハ表面の粒子を整列させるために使用される磁場が得られます。エッチングとアッシングが完了すると、ターゲットウェーハは温度制御と空気パージのために冷却室に転送されます。これにより、過熱によりウェーハ表面が損傷しないようにし、エッチングおよびアッシング処理中に粒子を安全に除去することができます。ダイニッポンSPW813-ASは、エッチングやアッシング機能に加え、さまざまな安全・監視機能を備えています。チャンバーは起動時の安全性をダブルチェックし、フィードバックシステムはガス圧と温度レベルを監視して最適な性能を保証します。このシステムには、エッチングとアッシングが安全かつ効率的に実行されるように、さまざまなアラームとフェイルセーフ手順が装備されています。全体的SPW-813AS、エッチャー/アッシャーは、精度と速度でエッチングとアッシングのタスクを実行することができ、強力で信頼性の高いマシンです。その高度な安全性と監視機能は、半導体業界にとって理想的な選択肢であり、ユーザーフレンドリーなコントロールパネルは使いやすいです。DNS SPW-813-ASを使用すると、半導体ウェーハのエッチングとアッシュを簡単かつ正確に行うことができ、次のプロジェクトの成功を確実にします。