中古 DNS / DAINIPPON / SCREEN SPW-813 #9402412 を販売中

DNS/DAINIPPON/SCREEN SPW-813は、DNS、 SCREEN、 DAINIPPONの合弁会社が設計・製造した高性能エッチャー/アッシャーです。PC制御のSMIF Pod機器を搭載したコンパクトで信頼性の高いデバイスです。エッチャーは、材料除去、PECVD、誘電体アッシングなどのプロセスに使用されます。DNS SPW-813は直径8インチの200mm垂直エッチャーとアッシャーです。工具距離500mmまでの最適なソースを備え、調整可能な加工時間は0〜60秒です。それは2つのプロセスチャンバーが装備されています。最初のチャンバーは、反応性イオンエッチング（RIE）、等方性エッチング、下流プラズマ処理に使用されます。他の部屋は完全にプロセスレシピか手動制御を扱う機能の誘電性のashingのため、です。SCREEN SPW 813は、多種多様なプロセスガスや化学物質を提供し、高い再現性と高い歩留まりを実現します。それはウェーハのバッチそしてインライン処理を可能にするスマートな部屋の封じ込めシステムが装備されています。完全に自動化された操作、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、高度なプロセス制御、信頼性の高い操作の組み合わせにより、生産に最適です。信頼性と性能を兼ね備えているため、様々な半導体製品の大量生産に適しています。SPW-813は使いやすく、維持しやすいです。フレンドリーなユーザーインターフェイスと内蔵モニターを備えており、エッチングとアッシャーのプロセス中にリアルタイムのフィードバックを提供します。モニタリングユニットはまた、プロセス時間、温度変化率、ターゲットへのソースの距離などの情報を提供します。また、高い歩留まりと信頼性を確保するために、プロセスアラームや警告などのさまざまな操作診断が付属しています。SPW 813は環境に優しい装置です。Energy Starの評価を受けており、SMIFポッドマシンを使用して全体の消費電力を削減しています。このデバイスはまた、RoHSに準拠しており、環境に有害な材料を生成しません。これは、ツールからガスを完全に抽出し、粒子生成を最小限に抑える機能を備えています。DAINIPPON SPW-813は、半導体業界の高い期待に応えるために製造された強力で信頼性の高いエッチャーおよびアッシャーです。反復可能な結果と高い歩留まりを持つ高性能エッチングおよびアッシャープロセスを提供することができます。高度なプロセス制御資産とフレンドリーなユーザーインターフェースにより、さまざまな半導体製品の高品質な生産を一貫して可能にします。