中古 DMS Geminus #9118151 を販売中

DMS Geminus
ID: 9118151
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Etcher, 12" (2) Chambers 2009 vintage.
DMS Geminusは、高精度エッチングをより速く、より正確にするように設計されたエッチャー/アッシャーです。調節可能なクランプとサポートカラムを使用して簡単にセットアップできるスタンドアロンユニットです。それに最高の保護のための長続きがする紫外線アクリルのコーティングが付いている堅牢なステンレス鋼の構造があります。Geminusは、シリコン、ガラス、セラミックスなどの幅広い基板に使用できます。それに長い耐用年数上の一貫したエッチングの性能を保障する二重PDMSのエッチング装置があります。エッチングチャンバーに不活性ガスを充填し、エッチング工程中の酸化からエッチング表面を保護します。DMS Geminusには、さまざまなエッチングパラメータを選択できるプログラマブルコントロールシステムが装備されています。パラメータには、エッチング電力、エッチング時間、基板温度、圧力、およびガスの流れが含まれます。コントロールユニットは、ユーザーがエッチングの進行状況を監視することもできます。この機能は、Geminusの高度な監視システムとともに、正確で安全なエッチング処理を可能にします。DMS Geminusエッチャーには、オペレータとエッチングプロセスの両方の安全性を確保するための多くの安全機能があります。安全機能には、自動シャットオフ機、緊急停止ボタン、ガスフローモニター、均一検出器などがあります。これらの安全機能により、オペレータと機器の両方の安全性が確保され、エッチングプロセスの精度も向上します。ジェミナスは、汚染を最小限に抑えた高品質のエッチングパターンを生産することができます。エッチング表面に粒子が沈着するのを防ぐ高度な真空ツールを備えており、クリーンで精密なエッチング処理が可能です。また、エッチングプロセスを正確に監視し、正確な結果を保証する高度なソフトウェアを備えています。全体的に、DMS Geminusは、高精度エッチングの大規模な生産に最適な高度なエッチャー/アッシャーです。堅牢な構造とプログラム可能な制御資産により、コンタミネーションを最小限に抑えながら、一貫した正確なエッチングを提供します。安全機能により、オペレータとエッチングプロセスの両方で安全で信頼性が高く、高度なモニタリングシステムにより正確な結果が得られます。これはすべて、高精度エッチングに最適です。
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