中古 DIONEX PM 11020 #9245096 を販売中

DIONEX PM 11020は、化学および半導体製造プロセスで使用するために設計されたエッチャー/アッシャーです。半導体基板上の不要な露出特性を除去する過程で使用されます。具体的には、PM 11020は、スズ、アルミニウム、シリコン、リン、その他の金属などのエッチングソリューションとウェーハを使用する際に、優れた歩留まりとスループットを提供する正確なエッチングツールです。DIONEX PM 11020は、50 mtorrの機能エッチングチャンバー、低インダクタンス電源、標準的なリモートチャンバードアロック、真空バスバルブ、およびその他のエッチングで構成される精密エッチング装置です。それは容易な取付け、維持管理のために設計されています。PM 11020はすぐに取付けることができ、速く、精密なエッチングのための安全分離装置および自動部屋のドアロックが付いている特許を取られている統合された安全システムを特色にします。精度を確保するために、DIONEX PM 11020は、調整可能なガス流量、高性能リリースバルブ、およびクイックチェンジガスヘッドを使用しています。これにより、ユニットは正確なガス流量を確保し、蓋を迅速に解放してウェハチェンジアウトすることができます。さらに、PM 11020のマルチステップ冷却機能により、エッチングチャンバー内のエッチングプロセス温度と酸素濃度を厳密に制御できます。さらに、DIONEX PM 11020には、過圧の問題が発生した場合にマシンをシャットダウンする独立した過圧保護機能があります。これは、圧力が評価されているものよりも大きい場合、ツールが失敗しないようにするための場所です。さらに、エッチングやウェーハが外部の汚染や酸素作用種にさらされるのを防ぐコンタミネーションモニター機能を備えています。さらに、このアセットにはポータブルコントローラがあり、モデルをより効率的かつ柔軟に操作することができます。このコントローラには直感的なヒューマンマシンインタフェース（HMI）が含まれており、ユーザーは操作パラメータを簡単に監視、制御、調整できます。また、直感的なLEDライトと音の警告による障害検出とアラーム診断機能を備えており、機器が正しく機能して正しく動作していることを確認します。PM 11020にはSPCサポート付きの統合データ収集システムもあり、ユーザーはプロセスのパフォーマンスを監視し、将来の参照のためにデータを保存することができます。このモジュールを使用すると、統計プロセス制御（SPC）のためにエッチング速度履歴を保存および分析することもできます。全体として、DIONEX PM 11020は、多くの肯定的な機能を備えた堅牢で信頼性の高いエッチャー/アッシャーユニットです。安全機能、精密エッチングおよびウェーハ交換プロセス、および迅速なメンテナンス要件により、お客様は安全で効率的なプロセスを確保しながら、品質の高いエッチング結果を達成することができます。