中古 DIONEX 2000 #9096845 を販売中

DIONEX 2000は、半導体製造における金属部品の超低温エッチングおよびアッシング用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は-180°Cから+1600°Cまで温度を維持することができ、マルチレベルの温度ゾーン、ガスの流れ、圧力制御、ガスのパージ機能など、多くのプロセス制御オプションを備えています。システムの主なコンポーネントには、真空チャンバー、ポンプおよびスクラバー、プロセス電極、ヒーターおよびコントローラ、ポンプオフプロセス制御、冷却装置およびその他のハードウェア部品が含まれます。また、プロセスパラメータを監視するためのコンピュータ制御ディスプレイと、各プロセスの温度、圧力、その他の値を記録するためのデータ収集機を備えています。真空チャンバーにはガス入力、電極、グラファイトボートが装備されており、基板の効率的な積載とサンプルエンジニアリングの検査が可能です。プロセス電極はエッチングまたは灰プロセスを容易にし、ヒーターは均一な温度プロファイルを提供します。冷却装置は部屋の温度を一定に保ちます。2000年の制御ツールは、温度精度と制御に関して高い精度を可能にします。複数の温度ゾーンは、チャンバー全体に正確な制御プロファイルを提供し、異なる温度プロファイルを必要に応じてプログラムすることができます。チャンバー圧力も細かく制御でき、必要に応じて不活性ガスでチャンバをパージすることができます。このチャンバーには、緊急停止制御やガス除去オプションなど、多くの安全機能が装備されています。さらに、この資産は、国際標準化機構と欧州連合の安全要件を満たすように設計されています。DIONEX 2000は、超低温エッチングと金属のアッシングを必要とする用途に最適です。そのインテリジェント制御モデルは、正確な温度制御と圧力レベルを保証し、半導体製造のための非常に信頼性の高い機器になります。その安全機能、高性能および容易な操作はそれにあらゆるタイプのエッチングおよびashingプロセスのための理想的な選択をします。