中古 DIENER ELECTRONIC Tetra 45 #293801545 を販売中
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ID: 293801545
Plasma system
Connections:
Gas: Swagelok, 6 mm
Power: 400 V, 16 A
Cable, 5 m
Exhaust: 38 mm
Tube, 5 m
Gas supply:
Mass Flow Control (MFC)
(3) Channels
Material: Stainless steel / Aluminium
Tolerance: 1%
Vacuum chamber:
Rectangular chamber with drawer
Material: Aluminium
Covering material: Aluminium glass panel
Volume: 45 L
Generator:
Frequency / Power
80 kHz / 0-1000 W
100 kHz / 0-500 W
13.56 MHz / 0-300 W
2.45 GHz / 0-850 W
Vacuum pumps:
LEYBOLD D65BCSPFPE Rotary vane pump
Exhaust filter
Suction power: 65 m³/h
Oil type: PFPE-Oil
RIE Electrode with gas shower
Pirani pressure gauge
Touch screen, 15"
PC
Operating system: Windows 10
Power supply: 400 V, 3 Phase, 50/60 Hz.
DIENER ELECTRONIC Tetra 45は、さまざまな研究および産業用途における精密プラズマ処理用に設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。この高度なツールは、エッチング、表面処理、およびクリーニングプロセスのための多目的で効率的なソリューションになるさまざまな機能と機能を提供します。Tetra 45の重要なポイントの1つは、プラズマ生成および制御システムです。このユニットは、高度なRF(無線周波数)技術を利用して、幅広い処理技術に使用できる安定した均一なプラズマを作成します。調整可能なパワーレベルとプロセスパラメータにより、ユーザーはプラズマ特性を微調整し、特定のアプリケーションに最適な結果を得ることができます。DIENER ELECTRONIC Tetra 45はまた、信頼性と再現性の高い処理条件を保証する堅牢な真空チャンバー設計を備えています。このチャンバーには、汚染を最小限に抑え、クリーンな処理環境を確保するために、高品質の材料と精密部品が装備されています。これにより、マシンは一貫した結果を提供し、時間の経過とともに高いプロセス再現性を維持することができます。Tetra 45は、高度なプラズマ生成機能に加えて、さまざまな材料や用途に対応するさまざまなプロセスガスと制御オプションを提供しています。ユーザーは、酸素、アルゴン、反応ガスなどのガスを選択して、特定のエッチングまたは表面改質要件に合わせてプラズマ化学を調整することができます。また、精密なガス流量制御と圧力調節機構を備えており、正確で再現性の高い加工条件を確保しています。さらに、DIENER ELECTRONIC Tetra 45には、最先端の温度制御アセットが搭載されており、加工中の基板およびチャンバー温度を正確に管理できます。この機能は、エッチング反応の速度と均一性を制御するだけでなく、敏感な材料への熱損傷を回避するために不可欠です。このモデルの温度制御機能は、プロセス全体の安定性に貢献し、ユーザーは一貫して高品質の結果を達成することができます。Tetra 45のもう1つの重要な利点は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとソフトウェア制御機器です。このシステムには直感的なソフトウェアが搭載されており、ユーザーは処理パラメータを簡単にプログラムして監視することができます。ソフトウェアインターフェイスは、リアルタイムのデータ可視化、プロセス監視、および診断ツールを提供し、ユーザーがプロセスを最適化し、問題の迅速なトラブルシューティングを支援します。さらに、DIENER ELECTRONIC Tetra 45は、メンテナンスと保守性を容易にするように設計されています。機械の高品質の構造と耐久性のある部品は、その寿命と信頼性に貢献し、長期的な性能と運用効率を保証します。全体として、Tetra 45は、高度なプラズマ処理機能、正確な制御オプション、およびユーザーフレンドリーな機能を提供する最先端のエッチャー/アッシャツールです。多様性、信頼性、性能を備えたDIENER ELECTRONIC Tetra 45は、高品質のプラズマ処理ソリューションを求める研究者や業界の専門家にとって貴重なツールです。
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