中古 DENTON VACUUM DFE 3 #126422 を販売中

DENTON VACUUM DFE 3は、幅広いエッチングおよびアッシング用途向けに設計された汎用性の高い高速エッチャー/アッシャーです。これは、低コストと優れたプロセス品質を備えており、多くの生産ラインにとって効率的な選択肢となっています。DFE 3には12インチのエッチングおよびアッシングチャンバーが装備されており、窒素、酸素、アルゴン、水素などのさまざまな処理ガスと互換性があります。これにより、幅広いエッチング作業に最適です。さらに、この装置は、エッチングとアッシングの両方のプロセスで高品質の再現性と再現性を提供します。デントン真空DFE 3はプロセス制御のための先端技術を提供します。これには、フィードバックループシステム、調整可能なフローバルブ、および完全な温度制御プロトコルなどの機能が含まれます。これにより、クライアントのニーズに合わせてプロセスを洗練させ、究極のプロセス制御を提供することができます。このユニットには、エッチングとアッシングプロセスを正確に制御するための2つの独立したプロセスガスバルブも装備されています。この特徴は、1ミクロンの水銀から10〜7ミクロンの低圧に達することができる堅牢な真空チャンバーによって補完されます。最後に、DFE 3は、負荷ポートやサンプルピックアップピン、流体のような精密モーションコントロールマシンなど、さまざまな補助ツールも提供しています。要するに、デントン真空DFE 3は、高品質の結果、再現性、再現性を提供する堅牢で費用対効果の高いエッチャー/アッシャーです。これは、精密なエッチングとアッシングプロセスを可能にする、高度なプロセス制御の範囲で設計されています。さらに、真空チャンバー内の低圧に到達することが可能であり、究極のプロセス制御を提供するために様々なアクセサリが供給されています。