中古 CORIAL D500 #9386289 を販売中

CORIAL D500は、ハイエンド部品の要求の厳しい加工に優れた精度で設計されたエッチング/アッシング装置です。これは、優れた再現性とプロセス制御を提供し、さまざまなプロセス要件に合わせて調整することができるコンパクトで堅牢なシステムです。このユニットは、微粒子の堆積を避けるためにコンフォーマルコーティングを施した高精度のモジュラーシングルまたはダブルレベルの真空チャンバーで構成されています。この機械には、クローズドループ制御用の精密な温度および圧力センサも装備されており、効率的で正確なプロセス条件の監視と制御が可能です。D500ウェハエッチャーは、シリコンウェーハ、シリカ、石英、アルミニウム、半絶縁基板、絶縁材など様々な基板をエッチングすることができる多目的ツールです。このプロセスは、誘電層とTSV（スルー・シリコン・ビア）構造のエッチング多層構造にも適応できます。アセットは、低圧または高圧エッチングプロセスで構成可能であり、自動ウェハハンドリングと基板プリプロセスもサポートします。このモデル設計により、塩素ガスやAJAエッチングを使用する可能性のあるウェットエッチング、ディープエッチングなどの積極的な化学プロセス用の交換可能なプロセスチャンバーも可能になります。この装置は、高速かつ正確なエッチング処理を提供する超微細モーションマッピング技術を備えており、パターン化されたウェーハとテンプレートウェーハの間で成功したプロセスのマッチングを保証します。CORIAL D500には、エッチマスクを用いたパターン基材の正確なオーバーレイアライメントのための高度なマスクアライメント技術が搭載されています。これにより、片面または両面基板での正確で再現性のあるエッチング処理が容易になります。さらに、エッチング精度と再現性を高めるインプロセス欠陥モニタリングユニットも備えています。D500は研究開発のcryoおよび乾燥エッチングの適用、また少量および大量の生産のために適しています。独特な特徴によって、機械は高精度および正確さ、堅牢性および優秀なプロセス制御を提供します。CORIAL D500は、現代の半導体産業の厳しいプロセス要件に最適です。