中古 CORIAL 300 iL #9272971 を販売中

CORIAL 300 iLは、半導体業界で展開されている高度なエッチングおよびアッシング装置です。そのプラットフォームは、高精度で再現性のある短いエッチングとアッシングサイクルを提供し、高品質の表面仕上げをもたらします。CORIAL 300は、単結晶ウエハーからマルチサイトフォトレジストコーティングまで、幅広いエッチングとアッシングのニーズに対応して設計されています。塩素ベースのエッチング、シリコンエッチング、イオンミリングなど、CORIAL 300ではさまざまなプロセスを実行できます。CORIAL 300のプラットフォームは、プロセスの再現性にも優れています。エッチング・アッシングツールには、エッチング条件の変更時でも加工温度を抑えた洗練された冷却システムが搭載されています。これにより、オペレータはさまざまな条件で同じ数のサイトを保持できます。CORIAL 300には、包括的なアッシング機能と、ウェーハ間のクロスコンタミネーションを防止する機能が内蔵されています。300 iLは600 x 600ミリメートルの標準チャンバーサイズで、メインチャンバーをレイアウトするときの許容差は1ミクロンです。自動化された4段階プロセスには、プリクリーン、エッチングステップ、ポストエッチングクリーン、ポストエッチングアッシングが含まれます。このプロセスは、シーケンスを完全に実行するようにプログラムすることができる一連のプログラマブルロジックコントローラによって制御されます。CORIAL 300は、3相AC入力により便利に給電され、消費電力は0。5 kW未満です。CORIAL 300の動作環境温度は15°C〜40°Cで、相対湿度は10〜90％です。CORIAL 300はまた、1メートルの距離でわずか62 dBAの音圧レベルで、低ノイズ動作を提供します。CORIAL 300をピーク状態で稼働させるためには、必要に応じてメンテナンスを行う必要があります。CORIAL 300を最新の状態に保つためには、最適なパフォーマンスを確保するために定期的にソフトウェアを更新する必要があります。全体的に、CORIAL 300 iLは、優れたプロセス再現性と高品質の結果を提供することができる高度なエッチングおよびアッシングユニットです。洗練された冷却システム、自動化された4段階プロセス、および低ノイズ動作は、半導体業界にとって理想的な選択肢です。