中古 CORIAL 300 iL #9272962 を販売中

CORIAL 300 iLは、高出力の誘導型プラズマエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、特許取得済みの誘導型プラズマ発電機を使用して、従来の静電容量結合システムよりも高いプラズマイオン化レベルを提供することにより、優れた性能と信頼性を提供します。その結果、幅広い材料のエッチングとアッシングの両方に効果的であることが証明されています。300iLはコンパクトなパルス成形発電機を備えており、ガス供給の精密な制御を可能にし、安定した均一なプラズマ密度を生成し、非常に滑らかで再現性のあるプラズマプロファイルを提供します。発電機はまた、複数のガス種やガスをサポートし、1つのユニットでエッチングとアッシングを可能にします。エッチチャンバーには完全真空ロードロックが装備されており、高速かつ効率的なサンプルの積み下ろしを可能にします。チャンバーはまた、高速、均一で安定したサンプルエッチングとアッシングのための多段ポンプ機を装備しています。また、一貫した再現性のあるプロセスを保証するためにガス混合マニホールドを備えています。CORIAL 300 iLは、高精度と再現性を必要とする半導体プロセスに最適な、次世代の誘導型プラズマエッチングおよびアッシング体験を提供します。優れたプロセス制御、高スループット、効率的なガス1ブレーションにより、このツールはすべてのエッチングおよびアッシング要件に優れた性能を提供します。