中古 CORIAL 300 iL #9272952 を販売中

CORIAL 300 iLは、様々な基板のエッチングとアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。コンパクトで省スペース設計を誇り、強力なロックメカニズムにより、効率的で安全な操作を実現します。300 iLは中規模から大規模な研究室に最適で、高精度な作業と堅牢な安全機能を提供します。CORIAL 300 iLは、高出力のホットフィラメントエッチング装置、最大10 Aの制御可能なビーム電流を提供するスペクトル陰極源を備えており、幅広いビームエネルギーレベルを提供します。CORIAL独自の機械的および光学的フォーカシングシステムにより、精度と速度を即座に調整できます。2倍の保護技術で最高レベルの精度を実現し、エッチング精度が高く、エッジ定義が± 2 ㎛までの均一な層を提供します。この単位はまた2000°C。までエッチングの温度を提供する現地のガスの流れの監視および制御を特色にします。オプションで統合されたターボ分子ポンプは、7。5 μ mの圧力で最大5 sccmのガス変化を可能にし、最大250のエッチング利得を提供します。この統合されたターボ分子ポンプは、高スループット生産ソリューションでの使用も可能です。300 iLは、個々のエリアシャッター、ガス入力機、避難脚、圧力制御などの高度な安全システムを内蔵しています。これにより、ツールの安全な操作を可能にし、潜在的な危険を排除し、最高レベルの安全性を確保します。さらに、高度な制御資産は、直感的なユーザーインターフェイスだけでなく、自己診断とソフトウェアの更新を提供します。CORIAL 300 iLは、最高レベルのエッチングと加工品質を提供し、半導体、MEM、ナノ構造製造の分野でのディープエッチングおよびアッシング用途に最適なツールです。300iLは、パワフルな性能と安全性を兼ね備えたコンパクトな設計により、最高品質の結果を正確かつ効率的に提供します。