中古 CORIAL 300 iL #9272940 を販売中

CORIAL 300 iLエンドポイントエッチャー/アッシャーは、ウェーハエッチングおよびストリッピング業界向けに設計された精密バッチアッシャーです。300 iLは、エッチングおよび洗浄材料の非常にタイトなプロセス制御を可能にする、自動化された完全カプセル化、低振動、および低ガス熱装置です。特許取得済みの多方向ノズルシステムと大容量SiCヒーターを備えています。CORIAL 300 iLエンドポイントエッチャー/アッシャーは、デバイス上のプロセスのスループットと品質を向上させるように設計された多数の機能を提供します。このユニットは、0。1 μ m/cmの低い誤差で、非常に反復可能なエンドポイントを提供することができます。8つのプログラマブルゾーンと最大10個のプロセスレシピをメモリに格納した300 iLは、従来のバッチアッシャーに比類のない柔軟性と精度を提供します。また、基板全体で± 2°Cの温度均一性、および2°C〜200°Cの温度範囲を提供します。CORIAL 300 iL内で使用できるプロセスガスは、窒素、アルゴン、ホルモン酸、アセトンなどがあります。このツールには不活性ガス供給とパージ機構が装備されており、資産が各プロセスレシピのために新鮮なガスで洗い流されることを保証し、最高レベルの汚染制御を提供します。300 iLはまた、非常停止、ガスおよび電源スイッチのオフ、および低電圧、高電流の気性シャットオフスイッチなど、多くの安全機能を備えています。このモデルはまた、任意のアラーム条件をオペレータに警告するために可聴および視覚アラームを備えています。装置は耐久のCERTACHROMのステンレス鋼の組み立てられ、また非常にconfigurableです。さまざまなウェハホルダーをシステムに取り付けることができ、CORIAL 300 iLのイーサネット接続を使用して、お客様の既存のインフラストラクチャにユニットを統合することができます。結論として、300 iLエンドポイントエッチャー/アッシャーは、エッチングおよびストリッピング業界に柔軟で高精度で安全なソリューションを提供します。CORIAL 300 iLは、優れた精度、再現性、温度制御により、制御、ローカライズ、マルチステップエッチングまたはストリッピングを必要とするあらゆるプロセスに最適です。