中古 CORIAL 300 iL #9272935 を販売中

CORIAL 300 iLエッチャー/アッシャーは、ハイスループットアプリケーション向けに設計されており、優れた転送特性を提供します。8つのロードロックを備えた300mmの広いプロセスチャンバーを備え、ウェーハローディングとアンロードに便利な24台のウェーハアダプタロボットを装備しています。300 iLには、プロセスインタフェースと柔軟なレシピ構成のための複数の通信インターフェイスが装備されているため、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに適応できます。CORIAL 300 iLは高精度プロセス用に設計されており、一貫して高いエッチング均一性を保証する多数の自動機能を備えています。最先端のモータ制御システムにより、振動と熱ゆがみを最小限に抑え、高速かつ正確に動作します。高いスループットレートにより、プロセス時間が短縮され、全体的なスループットが向上します。300のiLは酸素（O2）、窒素（N2）、二酸化炭素（CO2）、アルゴン（Ar）およびシラン（SiH4）のようなさまざまなプロセスガスおよび化学薬品を支えます。CORIAL 300 iLは全自動で、圧力、温度、真空を自動制御します。エッチングおよびアッシングプロセス中に精密かつ反復可能な動的制御のための自動ガスフロー制御システムが装備されています。チャンバー設計により、プロセスチャンバーへの容易なアクセスを可能にし、ガスの効果的な封じ込めを提供し、安全かつ効率的に使用することができます。300 iLはまた、プロセス測定の削減とダウンタイムの最小化を提供します。圧力や漏れの監視など、多くの安全機能を搭載しており、既存の生産環境に簡単に統合できます。システムの複数の通信インタフェースは、他のシステムとホストコンピュータとの間の簡単な通信を提供し、効率的な自動プロセス制御を可能にします。全体的に、CORIAL 300 iLエッチャー/アッシャーは、高精度エッチングおよびアッシングプロセスをお探しのユーザーに最適です。その高度な機能は、一貫して高いエッチングの均一性を確保し、プロセス時間とダウンタイムを大幅に削減します。また、複数の通信インタフェースにより、既存の本番環境への統合が容易になり、効率的な自動プロセス制御が可能になります。