中古 CORIAL 300 iL #9258052 を販売中

CORIAL 300 iLは、フォトリソグラフィ用途向けに設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置で、優れた解像度、優れた精度、および幅広いプロセス能力を提供します。この完全に自動化されたソリューションは、業界および研究アプリケーションの両方において最高の品質と効率を提供するために精密設計されています。300 iLは、カスタマイズ可能なレシピを開発し、すべてのエッチング/アッシングプロセスパラメータを正確に制御および監視する高度な消化ソフトウェアを使用しています。これは、プラズマ環境を完全に制御するだけでなく、優れた均一性制御を可能にする統合プラズマ源を備えています。これらの機能を組み合わせて、競合システムの数倍の画層均一性を実現します。CORIAL 300 iLは、高度な2段システムブーストコントロール（SBC）を搭載し、プロセスの安定性を大幅に拡張し、予測可能なエッチング/アッシング性能を提供します。SBC技術は、加工パラメータを素早く最適化するオートチューニング機能と、材料特性に基づいてエッチング/アッシング時間を調整するアダプティブコントロールユニットで構成されています。これにより、プロセスのパフォーマンスが一貫して維持され、繰り返し可能な結果が得られます。300 iLはまた、機械オペレータを保護し、機器への損傷を防ぐために緊急停止ハードウェアの4層を含むインテリジェントな安全システムを備えています。このツールには複数のチャンバーオプションが内蔵されており、マルチステップエッチング/アッシング手順に完全な柔軟性を提供し、同じツール内でさまざまなプロセスを分離できます。要するに、CORIAL 300 iLは、精密エッチング/アッシングのための無敵のソリューションを提供します。高度な先進的なソフトウェア、2段階のAsset Boost Control、およびインテリジェントな安全システムにより、一貫した信頼性の高いパフォーマンスが保証され、複数のチャンバーオプションは、複数のエッチング/アッシング手順に非常に汎用性があります。優れた精度、精度、プロセスの柔軟性を兼ね備えた300 iLは、優れたエッチャー/アッシャーモデルです。