中古 CORIAL 300 iL #293818173 を販売中

CORIAL 300 iLは、精密薄膜加工用に設計された高性能エッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、優れたプロセス制御を維持しながら、エッチングおよびアッシング工程で最高レベルの精度を達成するように設計されています。これは、基板にビームイオンの精密ストリームを提供するために、高エネルギー集束イオンビーム（FIB）ソースを持っています。FIBは、金、銅、グラファイト、シリコンなどの幅広い材料を優れた精度で加工することも可能です。さらに、高い位置精度でパターニングを可能にする特許取得済みのAdvanced Recipe Technology （ART）を搭載しています。Ashingのために、300のiLはフォトレジストおよび他の材料の速く、有効な取り外しを提供するために電子レンジRFおよび急速に熱するエッチング部屋を利用します。このユニットはまた、エッチングまたは灰プロセスが最適な性能のための理想的な温度で完了することを保証するために、非常に効率的な冷却機を持っています。さらに、CORIAL 300 iLは、並列エッチングとアッシング、シーケンシャルエッチングとアッシング、高エッチング率など、複数のモードで動作することができます。この柔軟性により、マイクロエレクトロニクスのファインラインパターンやデバイス構造の作成などのアプリケーションに最適です。さらに、このツールは、各プロセスのステップを制御するための使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供し、リアルタイムプロセス制御を強化するための強力なマイクロプロセッサとオンボードコンピュータを備えています。300 iLは、精密エッチングとアッシングプロセスを実行するための信頼できるツールです。高いイオンビーム強度、速いマイクロ波のashing、信頼できる冷却資産および高度の調理法の技術の組合せは信頼できるプロセス制御および優秀な均等性を保障します。さらに、モデルは完全に構成可能であり、現代の製造プロセスの変化する要件に適応することができます。