中古 CORIAL 300 iL #293695744 を販売中

CORIAL 300 iLは、高性能エッチングおよびアッシャー装置です。これは、優れた柔軟性とさまざまなエッチングおよびアッシング用途に幅広い機能を提供するように設計されています。300 iLのユニークな設計は、鋼材からガラス、セラミックス、半導体基板まで、さまざまな材料のエッチングとアッシングに特に適しています。このシステムには、高度な光学およびドライエッチング技術が搭載されており、優れたユニットアーキテクチャとプロセス制御を提供します。CORIAL 300 iLは、低消費電力から高消費電力まで幅広いエッチングウィンドウを可能にするプラズマソースを備えています。rf-sourceは永久に機械に統合されており、専用の制御ソフトウェアを使用して迅速で簡単なツールの起動とレシピのセットアップを提供します。300 iLは、急速な熱アニーリングプロセスも可能です。700°Cまで加熱されたホットプレートと迅速な応答時間を備えています。これにより、温度安定化とプロセスの再現性の向上が可能になります。アセットには、高い不透明性保護フィルタも備えており、エッチングやアッシング時に光学素子を保護します。これにより、モデルの耐久性が確保され、オペレータのメンテナンスコストが最小限に抑えられます。揮発性の有機成分（VOC）の削減もCORIAL 300 iLの重要な特徴の1つです。クローズドプロセスチャンバーは、より高いレベルのプロセス自動化と溶剤ベースの後洗浄プロセスの削減を可能にします。また、遠隔診断機能やリモートサービス機能も備えており、高い稼働時間とメンテナンスコストの削減が可能です。300のiLはICP-CF4-etchedのプロフィールおよびエッチングの均等性の広い範囲を提供します。ユーザーフレンドリーな操作と強力なプロセス制御機能により、幅広いエッチングおよびアッシング用途に適したツールです。