中古 CORIAL 300 iL #293672290 を販売中
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CORIAL 300 iLは、高品質の電子部品と光電子部品を製造するために設計された誘導結合プラズマ（ICP）エッチング装置です。シリコンウェーハ、III-V化合物半導体、酸化物、フォトレジストなどの材料の精密エッチングが可能です。300 iLには堅牢なNd： YAGレーザーソースが搭載されており、異なる深さと解像度でマイクロデバイスのパターンをエッチングすることができます。エッチングプロセスは、レーザーエネルギー、パルス持続時間、チャンバーガス組成などのエッチングパラメータをカスタマイズして所望のプロセス条件を満たすことができるため、高度に調整可能です。CORIAL 300 iLは、プロセスの精度と再現性を確保するために、他にもいくつかの重要なコンポーネントを備えています。イオン検出ユニット、高度な圧力制御装置、ハイエンド真空ツールなど、すべてが連携してエッチング精度を確保しています。コントロールインターフェイスは、簡単なメニューナビゲーションとタッチセンシティLCDディスプレイを備えており、ユーザーに資産を制御する合理化された簡単な手段を提供します。さらに、このモデルのソフトウェアは、エッチング精度と再現性に関するSematechの標準に準拠しています。堅牢なビルドと幅広い機能により、300 iLはあらゆるエッチングアプリケーションに最適です。この装置は幅広い材料に対応でき、フレキシブルエッチングパラメータにより、ほぼすべてのエッチング用途で望ましい結果を得ることができます。精密なエッチング結果を得るために信頼性の高いシステムを必要とするエッチャーとアッシャーは、CORIAL 300 iLの多くの機能を高く評価します。
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