中古 CORIAL 300 iL #293671933 を販売中

CORIAL 300 iLエッチャー/アッシャーは、多種多様な材料でパターン化された表面を作成するために使用される高精度で完全に自動化されたマルチチャンバーツールです。これは、電子顕微鏡、医療機器、MEMS、およびマイクロエレクトロニクス産業などの多くの産業における高性能、金属部品の生産のために設計されています。300 iLは、複数の加工チャンバ、異なるエッチングおよび蒸着ガス、統合されたOESおよび質量分析、および正確な温度および圧力制御を含む幅広い機能を提供します。また、マルチレベルのタッチスクリーンインターフェイスを備えており、すべてのシステム設定とコントロールに簡単にアクセスできます。CORIAL 300 iLは、最大3つのガス源を使用して直径300mmまでのサンプルをエッチングすることができる単一のマルチレベルエッチングチャンバーを備えています。エッチングチャンバーには、反応を監視する統合OESシステムと、エッチング種の組成を測定するためのマルチレベル質量分析計が装備されています。チャンバーには、最適なエッチング条件のためのプログラム可能な温度および圧力制御が装備されています。300iLはまた、直径300mm、厚さ3mmまでの金属膜を堆積することができる高精度の蒸着チャンバーを提供しています。また、蒸着チャンバにはマルチレベル質量分析計が装備されており、蒸着パラメータを正確に制御できます。このチャンバーは、堆積物の真空アニールにも使用できます。CORIAL 300 iLは、高精度、高品質の部品の製造に理想的な選択肢であり、さまざまなアプリケーションで優れた性能を提供します。使いやすく汎用性が高く、複雑で高性能な部品やシステムを作成するための幅広いエッチングおよび成膜プロセスを提供します。