中古 CORIAL 300 iL #293634078 を販売中

CORIAL 300 iLは、コンパクトで高スループット、低コストの反応イオンエッチング（RIE）アッシャー装置です。300 iLは独自のAC周波数を使用しており、広範囲のアプリケーションを可能にします。高アスペクト比のエッチング機能を備え、プロセスの再現性に優れ、ウエハハンドリングに優れています。CORIAL 300 iLは、ポリマー、金属、窒化物、酸化物、誘電体など、利用可能なすべての材料を処理する柔軟性を提供します。この高度な原子スケールエッチングユニットは、包括的なレシピ構築機能を備えた直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは独自のエッチングレシピをカスタマイズできます。また、視覚的なウェーハマッピングと自動ウェーハトラッキングマシンを備えており、再現性を向上させ、手動プロセス制御の必要性を排除します。300 iLは、精密エッチング機能を備えた高速で高い量子効率と低電圧（0- 1V）イオン銃マイクロ波発電機を備えています。CORIAL 300 iLには高性能ターボポンプが搭載されており、優れたエッチング速度で5×10-7トーラーの真空を実現します。また、最高レベルの清浄度を確保するための粒子濾過ツールを備えています。内蔵の安全機能には、ガス漏れ検出器、圧力過負荷インターロック、火災およびガスの安全スイッチなどがあり、安全な動作環境を提供します。さらに、300 iLは複数のプロセスレシピと改装オプションを提供し、最大3つのチャンバーで拡張できます。CORIAL 300 iLは、MEMSやその他のマイクロデバイスなどのハイテク部品の量産に最適な反応イオンエッチャー/アッシャーです。操作が簡単で、一貫性のある性能を備えているため、産業用R&Dおよび生産設備にとって非常に貴重なツールです。