中古 CORIAL 300 iL #293594392 を販売中
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CORIAL 300 iLは、高耐性IC処理アプリケーション向けに特別に設計された、高度なマイクロエレクトロニクスエッチング/アッシング装置です。精密なマスキングとエッチングが可能で、高品質なIC設計結果が得られます。300 iLには、高効率プラズマ発生器と両面レシピ対応プロセスモジュールが装備されており、エッチングおよびアッシング操作を正確に制御できます。付属のソフトウェアは、RIEエッチングから熱およびウェットアッシングまで、幅広いアプリケーションをサポートしているため、マイクロエレクトロニクス業界のラボやメーカーに最適です。CORIAL 300 iLは、変動を最小限に抑え、バッチ・ツー・バッチ可変性を持たない一貫した結果を保証するために、プロセスガスの露出を最小限に抑えるためにアバテーションユニットを備えた、厳密に制御された超高真空環境を備えています。また、高度な光学アライメントツール、高度な低圧測定技術、高精度ビーム制御アセットを搭載し、精度と再現性を最適化しています。300 iLは利便性を考慮して設計されており、直感的なGUIオペレーティングモデルを備えているため、プロセスの設定、真空性能の監視、ステータスの更新を簡単に行うことができます。また、ユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、データの可視化や分析など、さまざまな分析ツールにアクセスでき、プロセスパラメータを最適化できます。CORIAL 300 iLは、高度な多基板ハンドリング装置を搭載しており、サイクルタイムが低く、スループットが高いジョブの処理が可能です。このシステムには専用の安全システムも装備されているため、さまざまな産業用途での使用に適しています。全体的に300 iLは高度な処理ツールであり、集積回路や関連部品の精密なエッチングとアッシングのために設計されています。高精度、高度な機能、利便性により、精密なIC処理を必要とする方に最適です。
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