中古 CI SCIENCE Torus 300K #9402271 を販売中
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CI SCIENCE Torus 300Kは、業界グレードのエッチングおよびアッシング用途向けに構築された高度な電子ビームリソグラフィ装置です。このシステムは、超高解像度から高い生産性まで、幅広いエッチング要件をカバーする独自の機能を組み合わせています。このユニットは、強力な中電子銃、多軸ステージ、高感度の光学イメージング部品、高度なコンピュータ制御装置で構成されています。この銃は、エッチングされている基板材料の表面に影響を与える高エネルギーのビームを生成し、小さなギザギザの侵入を作成します。イメージコンポーネントは、ビームによって生成されたラインパターンをキャプチャし、多軸ステージは、パターンを作成するビームの正確な位置決めを可能にします。Torus 300Kは、エッチングで10ナノメートル、アッシングで5ナノメートルまでのライン/スペース分解能を達成できます。また、最適化されたエッチングのためのパルス処理能力と、1つのパスで異なる深さで複数の層を生成するための可変パスツールを誇ります。このモデルは、MEMSなどのマイクロスケール加工から3Dプリントまで、幅広い用途に適しています。それは信じられないほど汎用性があり、研究と商業生産の両方のための手ごわいツールです。CI SCIENCE Torus 300Kには、真空などの低圧環境での動作用に圧力チャンバーが取り付けられています。すべてにおいて、それはあらゆるエッチングおよびアッシング要件を満たすように設計された強力で高度なツールです。
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