中古 CI SCIENCE Torus 300K #9352899 を販売中

CI SCIENCE Torus 300Kは、マイクロファブリケーションおよびマイクロエレクトロニクス製造に使用できる最先端のエッチャー/アッシャー（急速熱処理システム）です。これは、薄膜アプリケーションの迅速かつ正確な開発のために設計されています。アニーリング、酸化、拡散、エッチング、成膜、アッシングなど、数多くの熱処理を行うことができます。Torus 300Kにはいくつかの特徴があり、マイクロエレクトロニクスの生産に最適です。それに高精度の残りながら異なった高さの条件に合わせ、合わせることができる特別な円柱暖房の部屋があります。また、自動化されたウェーハホルダーを備えており、各ウェーハを自動的に配置して非常に正確なアラインメントを行います。300Kの重要な要素の1つは、高効率の加熱です。加熱方法は、チャンバーを均等に加熱し、温度の一貫した分布を維持するのに役立つアクティブおよびパッシブ要素の組み合わせに基づいています。アクティブエレメントは、チャンバーを迅速かつ均一に加熱する誘導コイルですが、パッシブエレメントは特別なタイプの断熱材であり、より均等に加熱電力を分配するのに役立ちます。その結果、大量の材料が使用されている場合でも、温度までの時間が大幅に短縮され（最大30％高速）、温度の再現性が向上します。エッチャー/アッシャーはクリーニングでも非常に効率的です。毎分最大600ナノメートルの洗浄速度に使用でき、多くの超微細アプリケーションに最適です。また、熱プラズマまたは高圧ケミカルクリーニングで使用することができます。さらに、CI SCIENCE Torus 300Kは高度なプロセス制御機能を備えており、専用ソフトウェアパッケージを使用して温度を監視および調整することができます。これにより、温度制御と再現性の最適化が容易になり、ユーザーはさまざまな製造タスクのプロセスパラメータを最適化することができます。全体として、Torus 300Kは薄膜アプリケーションの迅速かつ正確な開発のための優れた選択肢です。高度な加熱および洗浄機能と高度なプロセス制御により、マイクロエレクトロニクス生産に最適な高効率機械です。