中古 CI SCIENCE Torus 300K #9352897 を販売中

CI SCIENCE Torus 300Kは、幅広い半導体ウェーハ加工に適したエッチャー/アッシャーです。この装置は、3次元の回転基板テーブル表面で設計されており、エッチング工程の回転速度の向上とスムーズな動作を可能にします。エッチングチャンバーにはクローズドフレーム設計も採用しており、反応チャンバーの汚染を効果的に防ぎます。エッチング工程のin-situ監視には結合型ウィンドウを使用し、基板表面を直接観察することができます。エッチングユニットは電極とソースホルダーの両方で構成され、精密なエッチング環境を提供します。このエッチングシステムは、直径10cm、厚さ0。5cmまでのウェーハを取り扱うことができます。電気化学エッチングプロセスは強力なコンピュータユニットを介して制御され、プロセスパラメータと幅広いバルブ設定を正確に調整できます。オートサイクル機能を搭載しており、エッチングの再現性とプロセス条件の最適化を実現しています。さらに、コンピュータコントロールツールには統合されたデータロギングアセットもあり、エッチングプロセスを追跡し、トラブルシューティングを簡素化できます。Torus 300Kはまた、堅牢な構造と迅速なセットアップ/リセット時間を備えています。モデル全体が標準的なラボ環境に収まるように設計されており、追加スペースの必要性が低減されます。ユニットはまた、耐腐食性材料から構成され、長期的な性能と信頼性を確保します。全体として、CI SCIENCE Torus 300Kは、高精度で再現性のあるエッチング処理に最適なソリューションです。そのユニークなデザイン、堅牢な構造、強力なコンピューター制御装置は、さまざまなウェーハ処理アプリケーションに最適です。