中古 CI SCIENCE Torus 300K #9352892 を販売中

CI SCIENCE Torus 300K
ID: 9352892
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Bevel etcher, 12" 2005 vintage.
CI SCIENCE Torus 300Kは、幅広い用途で幅広い素材をエッチング・アッシングするために構築された高性能、高精度エッチャー/アッシャーです。全圧環境を利用してスループットとエッチング/アッシャー収率を向上させ、エッチングやアッシングの前に試料分子の完全なイオン化と化学反応を達成することができます。このデバイスは、多数のサンプルや基板を処理するために特別に設計されており、高度な研究と生産のためのソリューションです。これは、選択性、エネルギー、圧力、温度などの反応パラメータを正確に制御しながら、高エネルギーエッチングとアッシングサイクルを実行することができます。また、サンプルコンポーネントの自動追跡と自動エンドポイント検出システムを提供し、毎回反復可能な結果を保証します。Torus 300Kは幅広いエッチングとアッシング機能を備えており、各サンプルのプロセスを微調整できます。これには、エネルギー、圧力、温度、およびイオン化を同時に監視しながら、複数のエッチングおよびアッシング手順を実行する機能が含まれます。さまざまなエッチングとアッシングのレシピをデバイスに保存して、すばやく簡単に検索できます。このデバイスは簡単にカスタマイズすることができ、ユーザーはパラメータを調整し、任意のサンプルのカスタムエッチングとアッシングパラメータを作成することができます。CI SCIENCE Torus 300Kは、CEが承認し、電磁放射や化学物質流出に対する保護を含む最新の安全基準を利用しています。高効率でメンテナンスを最小限に抑え、エッチングやアッシング操作に必要な部品を追加する必要はありません。このユニットは、エッチングおよびアッシングチャンバーの自動クリーニングも提供しているため、迅速かつ便利にメンテナンスできます。全体として、Torus 300Kは強力で信頼性の高い精密エッチャーとアッシャーであり、幅広い用途に最適なソリューションです。これは、エッチングとアッシングのための高度な機能と機能を提供します。
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