中古 CI SCIENCE Torus 200 #293585731 を販売中

CI SCIENCE Torus 200は、Confluence International、 Inc。の強力なエッチング/アッシュ機器です。200mmまでの基板サイズに対応可能で、エッチング用のトップダウン型の円筒形対流チャンバー、正確な基板位置決めと移動のためのx/y/zプラットフォーム、効率的で安全な廃棄物処理のための電動フタ、プロセス自動化のための独自のソフトウェアを備えています。このシステムは、片面または両面エッチングから選択する機能と、標準およびユーザー定義のプロセスレシピから選択するオプションをユーザーに提供します。このユニットは、高エネルギーイオンビーム機器やビームリソグラフィと組み合わせて使用されることが多い結晶多結晶シリコン（CPS）基板など、さまざまな基板でエッチングおよびアッシングに使用できます。Torus 200は、さまざまなサイズの基板に対応するように設計されており、X軸とY軸に沿って制御された正確な動きを提供するプログラム可能な基板ホルダーを備えています。さらに、CI SCIENCE Torus 200の高温機能により、アルミニウム、チタン、ステンレスなどの材料の高効率エッチングとアッシングが可能です。この機械には、ターンダウンアイソレーション、外部取付凝縮タンク、高効率ろ過、および自動避難用のリモートパージ/ベントポートを提供する内部ブロワーが装備されています。さらに、安全機能には、リモートマニュアルガスシャットオフスイッチとパネル搭載の緊急停止スイッチが含まれます。さらに、ツールの背面にある4線式インタフェース接続により、リモートコントロールが可能になり、ユーザーはPCやその他の互換性のある外部デバイスを介してエッチングおよびアッシュ機能にアクセスできます。