中古 CHEMCUT CS2000 #188495 を販売中
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CHEMCUT CS2000は、医療、産業、自動車産業で使用される精密エッチングおよびアッシャー装置です。システムには、いくつかの異なるコンポーネントを備えたモジュラーアーキテクチャがあります。エッチサイクルコントローラ、真空チャンバー、反応チャンバーを備えています。エッチサイクルコントローラは、出力、ガス流量、エッチング時間、エッチング/アッシャー数などのエッチングプロセスのパラメータを設定するために使用されます。真空チャンバーはエッチングのための高真空環境を作り出し、エッチングおよびアッシング工程中のエッチングのワックス沈殿を防ぐように設計されています。この反応室には、フッ素化合物、フッ素化合物、金属などのエッチングおよびアッシング工程で使用されるガス状反応剤が収容されています。CS2000には、ウエハカセット機構が搭載されており、ウエハーの出入りを自動的に行うことができます。また、エレクトロニクスを冷却し、エッチングおよびアッシングプロセス中に反応室内の圧力を安定させるための効率的な水循環機も含まれています。CHEMCUT CS2000の高耐久性SiC/超硬構造により、堅牢で均一なエッチングおよびアッシング処理が可能です。CS2000には、ウェーハの過熱を防止し、エッチング速度を向上させ、資産の寿命を延ばす高精度温度監視ツールも含まれています。さらに、CHEMCUT CS2000は、データ入力モデルやグラフィカルユーザーインターフェイスなどの高度な制御機能を提供します。これにより、機器のデータを保存したり、エッチングパラメータを簡単に変更することができます。さらに、診断機能は、システムが正常に機能していることを確認するのに役立ちます。さらに、ユニットCS2000さまざまな本番環境で使用できるようにする統合ハードウェアおよびソフトウェアソリューションが付属しています。CHEMCUT CS2000は、強力で効率的なエッチングとアッシング機で、生産プロセスの柔軟性を提供します。
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