中古 CANON MAS 8220 #9157615 を販売中

CANON MAS 8220は、最大30個のウェーハを同時に処理できるタンデム軸の電気化学エッチング/アッシング装置です。さまざまなエッチングおよびアッシング処理に適しています。このシステムは、ハイアスペクト比の構造を正確にエッチングするために設計されたプリエッチングとポストエッチング（それぞれ）を含む2段階のエッチング処理を採用しています。プリエッチングは、深さと正確な高アスペクト比の構造を作成できるように調整されています。直感的なソフトウェアコントロールユニットが動作し、エッチングとアッシングプロセスを監視するために含まれています。CANON MAS-8220は、独自の専用電源を備えたデュアル高性能、独立したエッチングおよびアッシング船で構築されています。電源は、直流、交流、パルス直流を各容器に別々に制御します。これにより、各船舶の正確な電力制御が可能となり、安定したエッチング速度と適切なエッチング速度の遷移が維持されます。エッチングパラメータは、プロセス時間や温度などのエッチング変数、およびエッチング試薬、濃度、および追加の触媒試薬を含むカスタマイズ可能です。MAS 8220に高精度フィルターを使用して試薬があらゆる微粒子から自由であることを保障する革新的なろ過機があります。ろ過ツールはまた、試薬をリサイクルし、それらの寿命を延ばすのに役立ちます。さらに、この資産には、エッチング工程中の温度バランスを維持し、プロセス温度を制御するための化学冷却および加熱モデルが組み込まれています。MAS-8220には、最大99のプログラマブルプロセスモードが含まれており、最大のプロセス柔軟性とカスタマイズされたプロセス制御を可能にします。また、ウェットベンチや発煙フードにも使用できるように設計されており、ユーザーの安全性を最適化しています。このシステムはまた、簡単な手動設定から完全に自動化されたプロセスシーケンスまで、幅広いプロセス制御オプションを提供します。さらに、ユニットのソフトウェアは、所望のエッチングパラメータを監視および維持するようにプログラムすることができます。CANON MAS 8220は、半導体デバイスのリソグラフィ、薄膜デバイス処理、MEMSデバイスの製造、バイオ化学アプリケーションなど、さまざまな用途において、ラボや生産設備が高い精度と精度を実現することを可能にします。機械の直感的な操作と精密エッチング機能により、要求の厳しい産業および実験室環境における上級ユーザーに最適です。