中古 CANON / ANELVA PED-301 #9284059 を販売中

キヤノン/ANELVA PED-301エッチャー/アッシャーは、電子部品または微細構造部品の製造用に設計された乾式SD-308V蒸気ガス拡散エッチャーです。CANON PED-301は半導体製造環境での使用に最適で、高い歩留まりと一貫性を提供します。ANELVA PED-301には、デュアルシングルウェーハ加工チャンバーがあります。各チャンバーは、シリコン、ガラス、窒化ケイ素などのエッチング材料を正確に露出させることができます。ドライエッチング処理は、材料の原子を除去するために材料表面と相互作用する非常にエネルギッシュなイオンを作成することによって動作します。PED-301は、ガスの種類、温度、圧力などの制御パラメータを使用して、材料が制御され均一な方法で除去されるようにします。CANON/ANELVA PED-301は、マスフローコントローラ、クリーンな作業環境、in-situガス精製装置などの高度な真空制御オプションを備えており、クリーンエッチング環境を確保しています。また、エッチングプロセスは内蔵のモニターシステムを介して監視および制御され、オペレータはプロセスパラメータを追跡および調整することができます。CANON PED-301にはリモコン端末が付属しており、設定を遠隔操作できるほか、露出やエッチング時間の調整も可能です。ANELVA PED-301には温度と圧力の両方のセンサーも装備されており、プロセス中に使用されるパラメータを正確に制御できます。PED-301は生産の条件に適するためにいろいろな付属品と形成することができます。これらには、追加のガス源、ガスライン、および遠隔排気ユニットが含まれます。エッチャーは、精密なプロセスを保証するために、オプションの材料計量機で構成することもできます。キヤノン/ANELVA PED-301エッチャー/アッシャーは、生産ニーズに信頼性とコスト効率に優れたエッチングソリューションを提供し、均一で一貫した結果を生み出します。キヤノンPED-301は寿命が長く、メンテナンスも最小限で、半導体業界にとって理想的なエッチングソリューションです。