中古 CANON / ANELVA MAS 801HR #9395927 を販売中

CANON / ANELVA MAS 801HR
ID: 9395927
ウェーハサイズ: 6"
Asher, 6" Non-SMIF type Cooling water Gases: DA, N2, O2, VAC Power: 3-Phase, 200V, 30A / Single phase, 100V, CVCF, 30A.
キヤノン/ANELVA MAS 801HRエッチャー/アッシャーは、高精度、高精度の材料除去アプリケーション向けに特別に設計された最先端のエッチング装置です。銅やアルミニウムなどの金属を極めた精度と精度で除去することができ、半導体、ソーラーパネルなどのエレクトロニクス産業に最適です。このエッチングシステムは、電流の流れを導くためにデュアル電極ユニットを使用し、残留効果を最小限に抑えて均一なエッチング深度を確保します。高解像度プラズマジェネレータと制御ユニットを採用し、複数のエッチングパラメータを同時に制御することができます。これにより、さまざまな材料に対して精密にチューニングされたプロセスが可能になり、優れたエッチング率と表面特性が得られます。効率と精度を最大限に高めるために、このツールはマルチゾーン真空チラーを備えており、エッチング工程中の正確な温度制御を可能にします。アセットには、30〜200ミクロンのエッチング深度を提供できるシングルまたはデュアルビームレーザーモデルが装備されています。優れたビーム制御装置は、エッチング深度が静的パターンと動的パターンの両方で正確かつ再現可能であることを保証します。これにより、パターンの複雑さに関係なく、均一で精密なエッチング面が保証されます。また、高度なコンピューティングシステムを使用して、パフォーマンスデータの監視、制御、および保存を行います。これにより、リアルタイムのユニット性能解析が可能になり、必要に応じてリアルタイムで調整することができます。さらに、リモートサポートと監視のために、マシンをリモートターミナルに接続することができます。CANON MAS 801HRエッチャー/アッシャーは、高精度エッチング性能を提供し、高精度な材料除去作業を必要とする方に最適です。このツールは、デュアルビームレーザー、高度なコンピューティングシステム、および包括的な制御ユニットを備えており、さまざまなエッチングのニーズに簡単に対応できます。半導体、ソーラーパネル、その他のエレクトロニクス業界においても、この資産は最高品質のエッチング性能を達成するための貴重なツールです。
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