中古 CANON ANELVA ILD-4100W #9158758 を販売中

CANON ANELVA ILD-4100Wは、高度なエッチングとアッシングプロセスを実行するように設計された高精度ウエハエッチャー/アッシャーです。このプロセスにより、エッチングされた結果の層の厚さとフィーチャーサイズを正確に制御できます。ILD-4100Wは先進的なICP （Inductively Coupled Plasma）技術を採用し、多様な基板の反応パラメータを正確に制御します。堅牢な構造と操作性に優れた独自の設計により、高速運転とメンテナンスが容易です。このデバイスは、ICPソース、電極、およびウェーハサポートで構成されています。ICPソースは、RF信号によってプラズマに電力を供給します。これにより、サブミクロンのフィーチャーサイズでウェーハをエッチングするのに有利な強力なプラズマ放電が実現します。ICPソースは、エッチング特性を微調整するために簡単に調整できる幅広いパワーレベルを提供します。この電極は、RF電圧を印加する一次電極として機能します。加工している基板にオリジナルのエッチングパスを生成します。最後に、ウエハサポートは、エッチング処理中に基板をシステム内に保持します。Anelva CANON ANELVA ILD-4100Wは、エッチング速度と一貫性、およびエッチング選択性を正確に制御します。これにより、MEMS製造、半導体製造、PCB加工、精密ウェハ製造など、さまざまな要求の厳しいアプリケーションに最適です。このデバイスは、シングルウェーハ基板とマルチウェーハ基板の両方を処理することができ、アルミニウム、シリコン、セラミックス、金属など、さまざまな材料に適応できます。さらに、ILD-4100Wは、ガスボックス、真空ボックス、ガスセンサー、単一のウェーハ転送チャンバー、複式アパート、ガスフィルターなど、さまざまな追加コンポーネントで構成することができます。これらの追加コンポーネントにより、ユーザーはプロセスをさらにカスタマイズしてニーズや要件を満たすことができます。さらに、直感的なLCD画面を備えており、操作と監視が容易です。CANON ANELVA ILD-4100Wは、産業用および学術用に精密で信頼性の高いエッチャー/アッシャーを必要とする方に最適です。その高度な技術機能により、シングルウェーハまたはマルチウェーハのいずれかで高性能を実現します。これにより、高精度のエッチングおよびアッシングプロセスを必要とする多くの業界および学術アプリケーションに理想的な選択肢となります。