中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9412378 を販売中

CANON / ANELVA ILD 4100SR
ID: 9412378
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Oxide dry etcher, 8" 1996 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4100SRは、表面の高精度な微細構造を実現する最先端のエッチャー/アッシャーです。この先進的な装置は、優れた再現性と均一性を実現しながら、優れた品質のエッチングパターンを生成するように設計されています。キヤノンILD-4100SRは、プラズマDLC (Diamond-Like Carbon)エッチングプロセスを使用して、エッジ定義に優れ、表面粗さが低い非常に平坦な表面を作成します。これは完全に自動化された装置で、エッチングパラメータを優れた制御で一貫した結果を保証します。ANELVA ILD-4100 SRは主にマイクロマシニングに使用され、高いスループットと精度を必要とする製造プロセスに特に適しています。このマシンは、ピクセルレベルの解像度、高い選択性、高精度の形状制御などの機能とともに、優れたエッジ品質のマイクロストラクチャーを作成することができる標準レーザーヘッドで構成することができます。他のレーザーヘッドは、ディープエッチングや複雑な形状など、特定の用途に合わせて機械を調整することができます。CANON ILD 4100 SRは、エッチング処理を正確に制御し、再現性のある性能を保証する、特許取得済みの電磁ブレーキシステムを搭載しています。このユニットには、エッチングの意図をフィードバック制御するための統合ビジョンマシンも装備されています。高度な低圧チャンバと熱電対フィードバックループにより、ILD 4100 SRはエッチング処理中に非常に安定した条件を維持することができ、優れた均一性と再現性を実現します。さらに、このツールは、潜在的な危険性を検出し、危険な状態が検出されたときに自動的にシャットダウンする真空センサーや酸素センサーなどの高度な安全システムを提供します。ILD-4100SRには、マクロプログラミングを備えたデバイス制御インターフェイスと、エッチングプロセスの簡単な制御と監視を可能にするタッチスクリーンディスプレイも含まれています。CANON ILD 4100SRは、再現性と均一性に優れた高精度マイクロストラクチャリングを必要とする製造プロセスに最適です。洗練された制御と高度な安全機能により、精密アプリケーションに理想的な選択肢であり、一貫した信頼性のある結果を提供します。
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