中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9398262 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4100SRエッチャーは、高性能半導体部品の精密生産に使用される先進的なイオンエッチング装置です。この装置は、シリコン、アルミニウム、その他の基材などの材料の高精度エッチングを実現するために、直接イオン注入用に設計されています。キヤノンILD-4100SRは、高精度ポンピングシステム、デュアルソースイオン源、3段ウェハキャリアシステム、コンピュータ制御プラズマパネルを備えた大型真空チャンバーを備えています。0.1µmまでの特徴サイズと0。2 µmの深さの平面形状と非平面形状の両方のエッチングに適しています。ANELVA ILD-4100 SRは、独立して制御されたロボットアームと耐熱ノズルを備えており、均一で均一なエッチングを保証します。ロボットアームは正確で反復可能な動きを保証し、ノズルは高温プロセスの間に損傷を防ぐために高温材料から成っています。ノズルは、エッチング中にイオンビームと基板表面が重なり合うのを防ぐ調整可能なガイド付きフォーカスを備えています。これにより、ウェーハの損傷を最小限に抑え、エッチング特性を一貫した高品質な結果を得ることができます。ANELVA ILD-4100SRは、エッチングの長さを制御するための高速ビームシャッターも備えています。これにより、品質やパフォーマンスを犠牲にすることなく、サイクルタイムを短縮できます。さらに、エッチングチャンバー内のシールドプレートを調整することで、エッチング工程中に二次イオンが作業エリアに侵入するのを防ぐことができます。これは、望ましいエッチング特性を妨げることができる不要な残留物の形成を防ぎます。ILD-4100 SRは、パラメータ保護モード、超低電流監視、フィードバックループ制御などの高度なプロセス監視機能も備えています。これにより、最高のエッチング精度と再現性が保証されます。さらに、電磁干渉を低減し、安全な動作環境を実現する超低ノイズチャンバーを搭載しています。全体的に、ILD-4100SRは優れた性能と精度を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。ロボットアーム、調節可能なノズル、パラメーター保護モードの組み合わせにより、一貫したエッチング結果が得られ、サイクル時間が短縮されます。さらに、このシステムは、最高のエッチング精度と再現性を確保するための高度なプロセスモニタリングも提供します。