中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9374945 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4100SRは、薄膜基板のターゲットとなるエッチングとアッシングのために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。ウェットまたはドライエッチングとアッシングの両方が可能な包括的なマシンです。それは敏感な基質の有効な、完全なエッチングおよびashingを可能にする同等の機械より高いプロセス速度を特色にします。CANON ILD-4100SRは、あらゆる加工可能な基材の乾燥およびウェットエッチングおよびアッシングに適しています。アルミニウム、ニッケル、銅などの様々な金属層を均一で最大の効率でエッチングおよびアッシングすることができます。水平方向および垂直方向の移動制御を備えているため、短時間で高基質の精密かつ迅速なエッチングとアッシングが可能です。ANELVA ILD-4100 SRには、エッチングおよびアッシング処理中に危険な化学物質が放出されるのを防ぐ排ガスクラバーが装備されています。この機能により、エッチングおよびアッシング処理が迅速かつ安全に完了します。また、CANON/ANELVA ILD-4100SRにはCCDカメラが搭載されており、エッチングやアッシング工程で基板表面を正確に撮影できます。ILD-4100 SRには、デジタル圧力センサーが搭載されており、プロセス雰囲気と基板温度を監視し、エッチングとアッシングの結果を最適化するのに役立ちます。これにより、独自のプロセスごとに精密なエッチングとアッシングパラメータを正確に設定でき、最大のプロセス出力を保証します。CANON ILD 4100SRは、さまざまなプロセスや基板に適した信頼性の高い精密エッチャー/アッシャーです。これは、高度な基板エッチングおよびアッシングシステムを必要とする人にとって優れた選択肢であり、プロセスの歩留まりを向上させ、運用コストを削減するのに役立ちます。