中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9374944 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4100SRは、さまざまな種類の物理エッチングおよびアッシングプロセス用途向けに設計されたエッチャー/アッシャー装置です。誘導結合プラズマ（ICP）源を用いてプラズマを誘導する高性能エッチング/アッシングシステムです。このプラズマは、さまざまな種類とサイズのウェーハのエッチングとアッシングに使用されます。CANON ILD-4100SRは、8 x 8インチウェーハまでの加工が可能です。ANELVA ILD-4100 SRは、ウェーハの精密なエッチングとアッシングのための多段ガス制御構造を備えたユニットです。この機械は安定したエッチングおよびアッシングの結果を保障するのにガス制御地帯が使用される3地帯のガス制御装置を特色にします。ガスコントロールユニットは、エッチング/アッシングチャンバー内の微粒子の発生を低減するのにも役立ちます。キヤノン/ANELVA ILD-4100 SRは、光学作動スプラッシュ保護ツール（OAP）を使用して、他のコンポーネントと相互作用する火花のリスクを低減し、基板およびコンポーネントを保護します。このアセットは、最適な環境で堆積とエッチングが行われ、重要な領域または敏感なコンポーネントが損傷しないようにするのに役立ちます。SRモデルILD-4100、超精密パラメータ追跡のためのクローズドループ実験も備えています。これにより、実際のプロセス実行中であっても、プロセス制御パラメータを迅速かつ正確に実験することができ、エッチングおよびアッシング処理の結果を最大限に活用することができます。CANON ILD 4100 SRは、エッチングおよびアッシングプロセスの合理化を支援する自動ローディングおよびアンローディングシステムを備えたスタンドアロン装置です。この自動化されたユニットは、処理とセットアップの時間を短縮するのに役立ち、ウェーハが最も最適な条件でエッチングおよびアッシュされるようにするのに役立ちます。全体的に、ILD 4100 SRは、さまざまな種類の物理エッチングおよびアッシングプロセス用途向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーマシンです。このツールは、ICPソース、3ゾーンガスコントロールユニット、光学作動スプラッシュ保護資産（OAP）、クローズドループ実験機能、および最適化されたエッチングおよびアッシング処理の結果を得るための自動ロードおよびアンロードモデルを備えています。