中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9292593 を販売中

ID: 9292593
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Oxide dry etcher, 8" 1996 vintage.
キヤノン/ANELVA ILD 4100SRは、幅広い用途に高精度エッチングを提供するために設計された汎用性の高いドライエッチングアッシャーです。キヤノンILD-4100SRは有機材料と無機材料の両方を処理することができ、高精度で再現性のある平面と複合面の両方をカバーします。その特徴は優秀なエッチングの効率および精密な特徴の切断を保障する高周波放電電源を含んでいます。また、強力な砲撃砲を搭載し、5kWの誘導結合放電を備え、優れたエッチング品質と再現性を確保しています。ANELVA ILD-4100 SRにまた10段階の調節可能なガスの流れ装置があり、ユーザーがエッチング変数の精密な制御を得ることを可能にします。CANON/ANELVA ILD 4100 SRは、多軸移動、エッチング条件の自動監視、プロセス制御などの高度な機能を搭載しています。マイクロプロセッサベースの監視システムは、条件が正確な許容レベル内に保持され、エッチング処理が非常に反復可能であることを保証します。ILD-4100SRには、エッチングパラメータを微調整できるグラフィカルインターフェイスも含まれています。ILD 4100 SRにはプログラマブルなアプリケーションユニットが内蔵されており、大規模な実行や困難なアプリケーションのエッチング処理を自動化するのに役立ちます。さらに、過負荷保護機も備えており、エッチングプロセスが安全で効率的であることを保証します。CANON ILD 4100SRは、シリコン、石英、アルミニウム、ポリイミドなどの幅広い素材を扱うのに適しています。また、平面面またはプロファイル面に優れた定義と滑らかさを提供することができます。ILD-4100 SRの高精度と再現性により、微細加工、LDS、先進モータ製造、医療機器製造、IC加工などの用途に最適です。キヤノン/ANELVA ILD-4100 SRは、多くのエッチング用途に最適です。高精度、再現性、直感的な制御システムの組み合わせにより、現代のエッチング用途に最適です。これは、さまざまなエッチングのニーズに対応する強力で信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。
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