中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9238858 を販売中

CANON / ANELVA ILD 4100SR
ID: 9238858
Oxide dry etcher.
キヤノン/ANELVA ILD 4100SRは、高精度表面加工に使用されるICPエッチング機です。リソグラフィとエッチングの両方を行うことができる多機能デバイスであり、医療、チップ製造、光学部品産業向けの汎用ツールとなっています。この機械は、エッチング処理にCF4、 CHF3、 SF6のイオン化ガスを組み合わせて動作します。これらのガスは、ICP電源から得られたプラズマで金属針を通して放出されます。針は、目的のパターンまたは表面を均等にエッチングするためにサンプル上でスキャンされます。CANON ILD-4100SRは、最大400mm×400mmのエッチング面積と最大10mmのエッチング深さを有し、0。5 μ mまでの高精度かつ繰り返し精度を備えてμます。コンパクトな設計により、既存システムへの簡単な設置と統合が可能であり、加工時間も短縮され、生産性が向上し、材料の無駄が軽減されます。このユニットは、ユーザーがリアルタイムでエッチング処理を監視することができる高解像度の表示装置を備えています。また、高精度の自動レベリングシステムを備えており、エッチング針が操作中に正しく調整され整列されていることを保証します。ANELVA ILD-4100 SRは、アーク検出、冷却水質管理、窒素膜、スパーク検出器などの高い安全性を備えており、安全な作業環境に貢献しています。このユニットは、リモートオペレーションと手動制御を可能にし、最大限の制御と柔軟性を実現するように構成されています。このマシンは常に正確で信頼性の高い結果を監視し、他のキヤノン機器と統合してさらに効率を高めることができます。全体として、ILD-4100SRは精密加工のための信頼性と信頼性の高いエッチングソリューションです。その幅広い機能とオプションにより、さまざまなアプリケーションや業界に適しており、高い安全基準により、保護された作業環境が保証されています。このエッチング機は取付け、作動し易く、優秀な性能のための高精度および再現性を提供します。
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