中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227371 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4100SRは、量産用に特別に設計された重要な寸法スキャナーエッチャー/アッシャーです。独自の赤外線視覚装置を備えた高精度で信頼性の高い機械で、表面、線幅、ノッチパターンを迅速かつ正確に測定することができ、半導体用途に最適です。CANON ILD-4100SRは真空エッチャー/アッシャーで、エッチング速度を厳密に制御して、あらかじめ決められた深さまで材料を除去できます。その精度は、エッチャー/アッシャーで一般的に使用される化学エッチングに頼るのではなく、材料除去の速度を制御することによって達成されます。ANELVA ILD-4100 SRは、第1段が二次電子銃を充電し、第2段が赤外線ビジョンユニットを充電する2段の充電システムを備えています。この充電機は、精密な設定とエッチング速度の制御を可能にします。さらに、誘導結合プラズマ技術（ICP）を使用して、均一かつ摩耗のない材料を除去します。CANON ILD 4100 SRは、チップベースのマイクロプロセッサ、バイオセンサー、診断アプリケーション用のMEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）コンポーネントの製造にも使用できます。MEMS加工では、超微細チャネルとキャビティを1ミクロン以下の深さまで作成できます。また、シリコン、ポリシリコン、酸化ケイ素、アルミニウム、III-V化合物など、さまざまなエッチング材料を使用するように設計されています。このエッチャー/アッシャー設計は、インターロック、有害ガス中和剤、可変速度排気ファンなど、幅広い安全性と排気機能を備えています。CANON ILD-4100 SRは、先進的なエッチングやフィーチャーサイズ低減用途でも高い効果を発揮します。これは、特定のパラメータ設定を使用して達成され、エッチング処理と達成された結果を正確に制御することができます。結論として、CANON/ANELVA ILD 4100 SRは、量産半導体アプリケーション向けに設計された洗練されたエッチャー/アッシャーツールです。その柔軟性と適応性により、幅広いプロセス、およびマイクロエレクトロメカニカルシステムの製造および高度なエッチングおよびサイズ削減アプリケーションに適しています。その強力な安全性と環境機能により、制御された環境と危険な環境の両方での使用に理想的に適しています。