中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227368 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4100SRは、半導体業界の用途向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーです。このデバイスは、ウェーハ、MEMSデバイス、およびその他の基板の理想的なエッチングまたはアッシングのための最新の不活性ガス技術を利用しています。CANON ILD-4100SRは、精密かつ再現性のあるエッチングおよびアッシング結果のための最新のN2O2制御技術を搭載しており、表面損傷はほとんどありません。フッ化物や酸系エッチング・アッシュエッチング剤、シリカ、シリコンの二酸化炭素との相性に優れています。この装置は、再現可能な結果と改善された表面仕上げで優れた解像度と精度を提供します。統合されたエンクロージャにより、Smartstream冷却と組み合わせた高度なガス供給方法を使用して、優れた均一性の結果を得ることができます。ANELVA ILD-4100 SRには、さまざまなウエハタイプの精密エッチング/アッシングのための内部圧力、流量、温度制御など、さまざまなプロセス制御機能も備えています。このデバイスは、ノーマルモードで最大60MHzまで対応できる高周波電源で動作します。これにより、エッチング/アッシング処理を正確かつ正確に制御できます。高周波電源とともに、マイクロプロセッサ制御チャンバ圧力コントローラや高効率の電磁放電ユニットなど、さまざまな先進的なコンポーネントを備えています。ILD 4100SRには、セルフロックドア、内蔵の消火装置、過熱警報、緊急シャットダウンツールなど、さまざまな安全機能も搭載されています。さらに、この資産には、デバイスとの間で安全にデータを送受信するために構築された安全な通信プロトコルとデータ暗号化も付属しています。全体的に、ILD 4100 SRは優れたエッチング/アッシャーデバイスです。さまざまなウェーハ基板やMEMSデバイスのエッチングとアッシングに、正確で再現性のある安全なプロセスを提供します。最新の不活性ガス技術と安全機能が組み込まれているため、幅広い用途に適しています。