中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9161261 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4100SRは、マイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための最先端のエッチャー/アッシャーです。高度なイオンビームエッチング技術と浅い異方性エッチング技術を組み合わせ、幅広いエッチングパラメータを実現しています。キヤノンILD-4100SRは、さまざまなマイクロエレクトロニクスデバイス製造プロセスに使用できる均一でクリーンで精密なエッチングを実現するよう設計されています。ANELVA ILD-4100 SRは、メンテナンス要件を最小限に抑える固定フォワードベース構造設計を備えています。それはステンレス鋼から成り、外面は腐食に対して抵抗力があり、きれいになること容易です。エッチングチャンバーは、エッチングおよびアッシングプロセス用に特別に設計されており、高精度の位置決めシステムを備えています。チャンバーのサイズは200mm x 200mm x 80mmで、大気と真空の両方のエッチング条件をサポートできます。ANELVA ILD-4100SRは、ILD （Inductively Coupled Plasma）、 CF4、 SF6、 CCl2F4など、幅広いエッチングパラメータを備えた材料エッチングが可能です。反応イオンビームとイオンビーム誘導エッチングの両方に対応しています。1400nm/min以上のエッチングが可能で、異なる形状のエッチングが可能です。CANON ILD-4100 SRは信頼性が高く、幅広いプロセス制御機能を備えています。イオンビーム電流、ガス圧力、エッチング時間、基板のオン/オフ時間を制御するためにプリセットすることができます。また、統合されたプロセス診断機能を備えており、エッチングの均一性と再現性を保証します。CANON/ANELVA ILD 4100 SRには、イオンビームパターンの強度をリモートで調整し、エッチパターンのアライメントを検証できるレーザーアライナーも装備されています。赤外線サーマルイメージングシステムは、エッチング表面の温度を測定し、エッチング結果を改善するためにオペレータにフィードバックを提供することができます。ILD-4100 SRは堅牢で信頼性の高い設計であり、正確で正確なマイクロエレクトロニクスデバイスエッチングを製造することができます。使いやすい機能と統合されたプロセス診断により、信頼性と再現性の高いエッチング結果を保証します。