中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293821838 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4100SRは、高度なフォトマスクエッチングおよびアッシング操作用に特別に設計された高性能エッチャーおよびアッシャーです。高度なマスク製造のための近代的な製造プロセスのニーズを満たすために開発されました。CANON ILD-4100SRは独自の熱管理装置と特許技術を備えており、複雑なフォトマスクパターンの形状と特徴を維持しながら、高エッチングとアッシング速度を実現します。ANELVA ILD-4100 SRは、クリーンで反復可能で一貫したフォトマスクエッチングとアッシング結果を生成する高効率エッチャー/アッシャーです。独自の熱管理システムと特許技術により、パターンの完全性や基板の損傷を犠牲にすることなく、高エッチングとアッシング速度に到達できます。先進的なフォトマスクパターンエッチング機能により、ILD-4100SRは高度な半導体生産プロセスのための高性能と高精度フォトマスクの作成を可能にします。CANON/ANELVA ILD 4100 SRは、プロセス監視機能やデータ収集機能などの高度な自動化機能を備えており、すべてのエッチングおよびアッシュ処理が最適化され、許容値の広いウィンドウ内でパラメータが調整されます。さらに、高度な診断と再調整機能を備えているため、問題やエラーを迅速に診断し、不要な再作業を避けるために自動的に再調整することができます。ILD-4100 SRはまた、高効率で均一なエッチングとアッシングのプロセスのためのデュアルチャンバー設計を備えています。高度なエッチングおよびアッシングプロセス制御ユニットは、エッチングおよびアッシング時間、エッチングおよびアッシング温度、酸素圧力、エッチングおよびアッシング流体温度などのエッチングおよびアッシングパラメータを調整することができます。これにより、CANON ILD 4100 SRは、金属、プラスチック、セラミックス、グラファイトなど、さまざまな材料でエッチングとアッシングを行うことができます。CANON/ANELVA ILD-4100 SRは、エッチングおよびアッシング工程において最高の精度と再現性を確保するために、マイクロメーターとカメラ座標系を備えた高精度マスクステージを備えており、高精度なサポート操作が可能です。さらに、低電圧から高電圧まで幅広い電源を使用して、最良の結果を得ることができます。全体として、CANON ILD-4100 SRは、フォトマスクパターンエッチングおよびアッシング工程において、最高の精度と再現性を実現する効果的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。高度な熱管理マシン、特許技術、高度なオートメーション機能、デュアルチャンバー設計、精密マスクステージを備えたANELVA ILD 4100 SRは、高度なフォトマスク製造に最適なソリューションです。