中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293758800 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4100SRは、半導体製造に使用される高性能イオンエッチャー/アッシャーです。非常に高解像度で選択性の高いエッチングが可能です。CANON ILD-4100SRは、最大8インチのウェーハを+/-10％の均一性でエッチングすることができ、反復性は+/-1％以内です。このツールは、時間と材料の厚さの両方において高い再現性を必要とする高精度アプリケーションに最適です。ANELVA ILD-4100 SRはイオンビーム技術を活用し、材料損失の少ないエッチングが可能です。また、このプロセスは非常に効率的であり、資源消費量が少なく、残留応力が低い。装置は、各アプリケーションに最適化されたエッチングを生成するために、エッチング時間やビーム電流などのさまざまなパラメータでプログラムすることができます。CANON ILD 4100SRは、低粒子カウント、高真空チャンバー、マスクの外側のエッチングを最小限に抑えるシャッターシステムを維持するための窒素エンクロージャも備えています。また、プロセスチャンバーからO2、 N2、 CxHx （xは数）分子を除去することができる特許取得済みのガスフィルタリングユニットを使用しています。このろ過プロセスは部品の高い表面の滑らかさそして完全な仕上げを保障するのを助けます。ANELVA ILD 4100 SRのエッチング速度は2周波数設定で変調することができ、微調整されたエッチングが可能です。このマシンは、プロセスのリアルタイム画像を表示することもでき、結果の即時フィードバックを可能にします。これは、一貫した正確なエッチングとアッシングの結果を保証するのに役立ちます。ANELVA ILD-4100SRには、高真空ポンピング、低残留ストレスメッキ、亜鉛鋳造成形、Wモードドーピングなど、さまざまな特殊機能が搭載されています。これらの追加機能は、ウェーハ上の接触開口部のめっき、水晶ウェーハ上の層の形成など、より大きな用途を提供するように設計されています。CANON/ANELVA ILD-4100SRは、ユニークな機能を備えたハイエンドイオンエッチャー/アッシャーです。その技術的能力は、精密かつ高収量の製造のために設計されており、その追加の特別な機能は、より柔軟性を付与します。これらの部品を組み合わせることで、半導体材料をエッチングするための強力なツールとなります。