中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293751263 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4100SRは、様々な表面処理に使用できるように設計されたプラズマエッチャー/アッシャーです。あらゆる素材の表面を精製し、製品設計者やエンジニアが電子部品の生産における複雑な問題を解決することができるハイテク機械です。通常、これらのプロセスは、物理的、化学的、熱的または照射技術を通じて材料表面の任意の変化を指します。キヤノンILD-4100SRプラズマエッチャー/アッシャーは、エッチングプロセスの有効性、信頼性、精度を最大限に高めるために、高度な技術を活用しています。パラレルプレートとデュアルオーバーラッピング技術に基づいており、デュアル周波数テーリングコイル電源を採用しており、サンプルの歪みを無視した迅速なエッチングとアッシング速度を可能にします。ANELVA ILD-4100 SRはまた、オペレータがビームサイズと形状だけでなく、プロセス時間を制御することができる洗練されたシャッターメカニズムを備えています。さらに、高度なモニタリングのための液晶ディスプレイを内蔵し、エッチング/アッシング工程の理解を向上させています。ILD 4100 SRは、イオンエッチング（RIE）、イオンアシストエッチング（IAE）、プラズマアシストエッチング（PAE）など、さまざまなエッチング/アッシュプロセッサを提供できます。Ion Etching （RIE）では、SiO2、 SiN、ポリシリコン、金属、セラミックス、ポリイミド、ポリマーなどの材料をエッチングして処理することができます。イオンアシストエッチング（IAE）は、アルミニウム、銅、チタン、タングステンおよびその他の耐火材料のエッチングを可能にします。プラズマアシストエッチング（PAE）では、フォトレジスト、ポリマー、酸化ケイ素、窒化ケイ素などの薄膜をエッチングすることができ、特徴サイズは最大1umです。ANELVA ILD 4100 SRには、オートチューニング、イーサネット/IP接続、プログラマブルレシピプリセット、高速アクセス、RS-232による制御など、さまざまな追加機能が搭載されています。また、CANON/ANELVA ILD 4100 SRは自動チューニング機能を内蔵し、ダイレクトビューキャビティシステムによりサンプルの迅速な変更と高速リカバリが可能です。全体として、SRプラズマエッチャー/アッシャーILD-4100高度で信頼性の高い機械であり、0。1umから1umまでの機能サイズの解像度でさまざまなエッチング/アッシュプロセス機能をユーザーに提供します。これは、エンジニアや製品設計者にとって費用対効果の高い効率的なソリューションであり、あらゆる材料の表面を精密かつ正確に精製することができます。