中古 CANON / ANELVA ILD 4100SR #293717605 を販売中

CANON / ANELVA ILD 4100SR
ID: 293717605
ウェーハサイズ: 8"
Etchers, 8".
CANON/ANELVA ILD 4100SRは、さまざまな半導体開発、加工、材料加工アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、半導体ウェーハや他の材料に回路をエッチングまたは焼き付けるために使用されるツールです。CANON ILD-4100SRは、深部エッチングプロセスまでの浅い範囲で使用でき、セミコンドータ開発のための部品生産に最適です。ANELVA ILD-4100 SRは、自動陰極アーク発生器、多周波電圧調整、ガスチャンバー構造圧力制御装置などの高度な機能を備えています。陰極アークジェネレータを使用すると、材料の浸食とターゲット基板の損傷を最小限に抑えた高精度エッチング構造を作成できます。調節可能な複数周波数電圧により、イオン爆撃力とエッチングパターンの形状を細かく制御することができ、圧力制御システムは作動中のガス室で必要な圧力レベルを維持します。CANON/ANELVA ILD-4100 SRは、最小限5µm浅いエッチングから最大100µmの深いエッチングまで幅広い作業範囲を持っています。アルゴンイオンビームエッチング、プラズマエッチング、反応イオンエッチング、その他の浅い/深いエッチングなど、さまざまなプロセスをサポートしています。CANON ILD 4100 SRは、運転中の不規則性を検出できる自己診断ユニットを備えており、潜在的な損傷から部品を保護するために機械をシャットダウンします。真空センシングツールは、チャンバー圧力の適切な動作と制御を保証し、エッチングプロセスを非常に安全かつ効率的にします。ユーザーの利便性と柔軟性のために、ANELVA ILD-4100SRには、液晶ディスプレイ、コントローラ、安全警報アセットなど、ユーザーフレンドリーな機能が組み込まれており、モデルの障害をユーザーに警告します。さらに、統合された通信インターフェースにより、ユーザーは遠隔地から複数のエッチャーを制御および監視することができます。全体として、CANON ILD-4100 SRは、半導体開発および材料加工のすべてのレベルにおいて、非常に高い精度、信頼性、安全性を達成するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。その革新的な機能、幅広い作業範囲、さまざまなプロセスにより、あらゆる実験室や産業工学環境にとって非常に有用で強力なツールとなります。
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