中古 CANON / ANELVA ILD 4100SDII #9374949 を販売中

CANON / ANELVA ILD 4100SDII
ID: 9374949
Oxide dry etchers.
CANON/ANELVA ILD 4100SDIIは、金属、セラミックス、ポリマーなどの各種材料のエッチング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。広い領域で最大0。1 μ mの精度で高精度なエッチングが可能です。このシステムは、優れたエッチング結果を達成するのに役立つ様々な機能を備えています。これらの機能には、高い再現性と再現性の精度、複数の高エネルギーイオンビーム、サイズ、形状、フラックス制御、および高バイアス電圧の幅広い選択肢があり、さまざまなアプリケーションに適しています。キヤノンILD-4100SDIIは、長いパルス周波数で動作する高エネルギーイオンビーム源とアッシャー源で構成されています。電流、線量、パルス反復率などのイオンビーム源のパラメータを制御することで、優れた均一性を実現します。高精度なエッチングを可能にする高度なオートフォーカスと位置補正機能を搭載。さらに、フォーカス、電流などの面での継続的な改善により、複雑なエッチング作業を高精度かつ効率的に行うことができます。このモデルは、高いバイアス電圧範囲を備えており、高いエネルギーと精度でイオンをターゲットに向けることができます。また、サイズ、形状、フラックス制御の広い範囲を備えています。サイズおよび形は1mm2から400mm2まで変わることができフラックス制御は0。1x10-6から10x106 amperes/cm2まで及ぶことができます。金属、セラミックス、ポリマーなどにエッチングする際の正確な制御と精度を実現します。さらに、コンピュータ制御や、コンピュータ、プリンタ、その他のエッチャーなどのさまざまな外部機器との接続も備えています。これにより、レシピ管理、プロセス監視、データ分析などの重要な操作を遠隔操作および制御できます。エッチングプロセスの適切な測定と分析は、高エネルギーエッチングをさまざまな材料に使用する場合に特に不可欠です。ANELVA ILD 4100SD IIは、さまざまな表面に高精度エッチングすることができる強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。高い再現性、複数のイオンビーム、オートフォーカスと位置補正、高いバイアス電圧、外部機器に接続できるレシピ管理などの重要な機能を備えており、幅広い用途に適しています。
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