中古 CANON / ANELVA ILD 4100SDII #293821836 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4100SDIIは、様々な産業や科学的環境で使用されるエッチャー/アッシャーです。CANON ILD-4100SDIIでは、ウェーハやMEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）などのフラット基板上の材料表面をエッチングし、アッシャーするための様々なイオンビーム技術を活用しています。ANELVA ILD 4100SD IIは、高信頼性を実現するコンパクト設計の低電圧イオンビームシステムです。ポーラスカーボンカソード付きのイオン源を使用して、ステッピングモータで制御し基板表面に塗布することができる均一な爆撃イオンを生成します。生成されたイオンのエネルギーレベルは、エッチングと薄膜または結合基板のアッシングのために60〜400Vまで調整することができます。ILD 4100SDIIのソースブロックには、ビーム強度を調節するための可変速度ロータリーベーンも装備されています。さらに、高真空ターボ分子ポンプ、ターボ回転および超音波振動、およびアプリケーションの柔軟性のためのベークアウト機能を備えています。キヤノン/ANELVA ILD 4100SD IIは、酸化ガラスエッチング、レジストストリッピング、クリーニング、カーボン除去、ハードカーボンフィルムの除去など、さまざまなエッチング/アッシング用途を提供します。窒化ケイ素、二酸化ケイ素、金属、ポリマー、チタン、ニッケルなどのエッチングやアッシングにも適しています。さらに、既存の表面や構造を若返りまたは修復するためにトップダウンのアニールに使用することができます。ANELVA ILD 4100SDIIは、ユーザーがリアルタイムでエッチング速度と深さを監視できるため、他のシステムよりも優れた精度と再現性を提供します。これにより、廃棄物を最小限に抑えた効率的な材料加工を実現し、過剰エッチングや過剰エッチングのリスクを低減できます。さらに、エッチャー/アッシャーは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとリモートデバイス制御で簡単にプログラムおよび操作できます。全体的に、ANELVA ILD-4100SDIIは、幅広いアプリケーションを備えた高度なエッチャー/アッシャーです。エッチングおよびアッシング工程のリアルタイムモニタリングと、無駄を最小限に抑えた効率的な材料加工により、優れた精度と再現性を提供します。また、シンプルなユーザーインターフェイスを備えており、ベークアウトやターブ回転機能などの機能が内蔵されているため、さまざまな産業および科学プロセスに最適です。