中古 CANON / ANELVA ILD 4100 #293814342 を販売中

CANON/ANELVA ILD 4100は、半導体基板に高品質なパターンと小さな特徴を作り出すエッチャー/アッシャーです。これは、ナノメートル分解能エッチングを達成するのに役立つ高出力、高圧、ガス相エッチング装置を備えています。このシステムは、エッチング剤として化学的に不活性な塩素含有ガス（CCl2 F2）を使用しています。CANON ILD 4100エッチャー/アッシャーは、高度なエッチヘッド設計と強力な操作ユニットを備えています。この機械には、電極を備えたキャビティ、ノズル可能な磁石、および誘電窓が含まれています。このキャビティは2つのプロセスを可能にします。まず、電極間に高い電位勾配を作り出し、イオン化された粒子を基板に向けて加速するように設計されています。第二に、強力な磁場を使用して、エッチガスフローが基板全体を中心に維持されるようにします。このツールはまた、高圧ACパルス電源と高速データ処理を使用して、イオン化および蒸着プロセスを迅速かつ正確に制御します。0。1ナノメートルの精度でエッチングパラメータをプログラミングすることにより、高解像度のデジタルパターニングが可能です。エッチャー/アッシャーには、高度なソース保護対策と資産の安全動作を確保するための複数の安全機能も装備されています。リモコン操作も可能です。ANELVA ILD-4100は、ナノテクノロジーにおけるさまざまなアプリケーションとプロセスのための優れたエッチャー/アッシャーです。ウエハー、ガラス、セラミックスなどの基材にナノメートル分解能で高度なパターンを作成するのに最適です。使いやすいコントロールを備えたハイエンド機器と、省スペースで幅広い用途に適したコンパクトな設計を特徴としています。