中古 CANON / ANELVA ILD 4033 #9390491 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4033はIonized Cluster Deposition （ICD） Technologyを使用したリアクティブイオンエッチャーです。高いアスペクト比と硬質材料の精密なエッチングを、信頼性と経済性を兼ね備えたカスタマイズ可能な機械です。金属、セラミックス、メガネ、半導体、その他様々な電気・産業用部品のエッチングに使用されています。CANON ILD 4033は、磁気シールドされた電波周波数（RF）処理チャンバを使用しています。電子銃は、典型的には様々なサイズのイオン源であり、様々な物質表面で非常にエネルギッシュな電子を選択的に発火させる。次に、半径8mmまでのビームサイズの電子ビームをプロセスチャンバーに形成します。これにより、堆積層、エッチング層、酸化層の制御が最大化されます。ANELVA ILD-4033は、金属や他の材料に繊細な構造をエッチングするなど、さまざまな用途に一般的に使用されています。精密にエッチングするように設計されており、材料の割れや欠けがほとんどなく、クリーンで正確なエッチングが可能です。80nm幅のエッチングが可能で、複雑で詳細な部品を作成するのに役立ちます。CANON ILD-4033は、使用時に最適な安全性を確保するために、いくつかの安全機能を備えています。これらの機能には、不正な人員がチャンバーにアクセスできないようにする安全インターロックシステム、アラーム付きの過圧センサー、緊急時にシステムをすばやくシャットダウンする緊急ボタンなどがあります。エッチャーには、ユーザーにより効果的で効率的な複数のアクセサリーを装備することができます。自動化されたウェーハローダーにより、エッチングプロセスが合理化され均一になり、プロセスコントローラによってパラメーターの調整と監視が容易になります。全体として、CANON/ANELVA ILD-4033は、高アスペクト比と硬質材料を正確にエッチングするための信頼性と経済性の高いソリューションです。カスタマイズ可能な機能、安全機能、便利なアクセサリーにより、あらゆるスキルレベルのユーザーに信頼性の高い効率的なエッチングソリューションを提供します。