中古 CANON / ANELVA ILD 4033 #9258941 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4033は、主に電子部品やデバイスの製造に使用されるエッチング/アッシングツールです。ウェットエッチングとドライエッチング/アッシングの両方が可能で、部品の生産に幅広い用途に対応できます。CANON ILD 4033はRFプラズマジェネレータを搭載し、均一なエッチプロファイルのための強力なプラズマを生成します。この発電機は、デュアル周波数キャビネット、デュアル周波数電源、およびRFプラズマ源で構成され、ANELVA ILD-4033に幅広いプラズマ生成能力を提供します。また、高度な自動電極バイアス調整機能を搭載し、エッチング/アッシング効果の異なる生成を可能にします。これは、電極電圧を調整し、ユーザーがカスタムエッチング/アッシングパラメータを作成できるようにすることによって達成されます。このモデルは、エッチング/アッシング処理中に精度と速度の両方を最大化するように設計されています。基板を保持する高精度ロータ装置を採用し、均一なガス流量を実現しています。高圧ガス源もエッチング/灰レートを高める目的で含まれています。マルチステージプラテンエッチングヘッドにより、複数の基板を同時にエッチング/アッシングできます。これは、複数のプラテン電極だけでなく、必要なエッチング/アッシュパラメータに合わせて調整できる精密ノズルも備えています。ILD 4033は、高度な洗浄モジュールにより、堅牢な洗浄ソリューションを提供します。このクリーニングモジュールには、静的なドライクリーニング缶とRFフレキシブルクリーニングシステムの両方が含まれています。これらの機能は、各エッチング/アッシング処理後にウェーハとプラテンの両方から効果的に残留物を除去するために協力します。この装置はまた、高度な保護ユニットのために、エッチング損傷に対する効果的な保護を提供します。これは有効な電圧制御のためのAC電源を含んでいます；高められた圧力レベルによる振動を防ぐ統合された連結機械；そして絶縁材の失敗の場合には高められた電気安全のためのRFの高周波発電機。結論として、ANELVA ILD 4033は、電子部品およびデバイスの製造に一貫した信頼性と効果的なソリューションを提供する高度なエッチング/アッシングツールです。その数多くの機能により、多彩なエッチング/アッシュ機能、正確で高速な回転ツール、および複数のクリーニング/保護ソリューションを備えた、高効率な部品製造ツールです。