中古 CANON / ANELVA ILD 4033 #9257787 を販売中

キヤノン/ANELVA ILD 4033は、不活性ガス技術を活用したコンパクトでパワフルな反応性イオンエッチャー（RIE）/アッシャーです。基板を収納するメインチャンバー、内部プロセスチャンバー、エッチング工程で使用する不活性ガスを搬送するための外部チャンバーからなるシングルウェーハ装置です。このシステムは、シリコン、金属膜、およびその他の半導体材料を含むさまざまな材料のエッチング用に設計されています。CANON ILD 4033は、正確な制御と均一性で素材を正確にエッチングすることができます。プロセスチャンバーには、均一なエッチング深さを維持するための微細な制御ユニットと、エッチング時間と温度を制御するための調整可能なエッチングチャンバー圧力が含まれています。機械はまた非常に高いエッチング率が可能であり、異なった材料の異なったエッチング率による影の効果のための高い許容差があります。ANELVA ILD-4033にはオンボードコントローラが装備されており、ユーザーはエッチングプロセスをプログラムし、最大99個のプロセスプログラムを保存し、中断または不完全なプロセスを再起動し、動作中にセットパラメータを調整することができます。メインチャンバーには、エッチング処理の可視化を可能にする石英窓も装備されています。ILD 4033は、RF電源とICP （Inductively Coupled Plasma）を使用して、エッチングに最適な雰囲気を生成します。このツールは、コールドウォール電極技術、RFバイアス、およびAC/DC電源機能を備えたICPプラズマを生成することができます。メインチャンバーは、高いプラズマ密度を生成し、プロセス全体を通じて安定した条件を維持するように設計されており、精密で再現性の高いエッチング深度を可能にします。ILD-4033は高度な安全資産を備えています。このモデルには、エッチング薬品への偶発的な暴露を防ぐために、防爆ドアと一連の安全スイッチが装備されています。プロセスチャンバーは、装置への粒子発生および外部損傷を防止するように設計されています。さらに、周囲環境センサーは、安全な操作を確実にするために、内部環境を継続的に監視します。結論として、ANELVA ILD 4033は、精度と精度の高いエッチング材料に不活性ガス技術を利用した強力で反応性の高いイオンエッチャー/アッシャーです。その高度な安全機能とオンボードコントローラは、効率的で信頼性の高いエッチングプロセスをユーザーに提供します。